超高純特氣純化器_電子氣特氣純化過濾器
在半導(dǎo)體制程中,超高純氣體的品質(zhì)直接決定了芯片的性能與良率。深圳恒歌超高純特氣純化過濾器,專為高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì),以頂尖的純化過濾能力守護(hù)氣體的極致純凈。
產(chǎn)品采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),這一材質(zhì)不僅賦予了過濾器出色的耐腐蝕性,更能在 50Mpa 的高壓環(huán)境下保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,為超高純氣體的輸送提供堅(jiān)實(shí)容器。相對(duì)較輕的重量使其實(shí)現(xiàn)了小型化設(shè)計(jì),有效減少安裝空間,讓系統(tǒng)布局更緊湊高效,滿足半導(dǎo)體工廠對(duì)空間利用的嚴(yán)苛要求。
其純化過濾能力堪稱行業(yè)標(biāo)桿。能夠高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔锏雀黝愲s質(zhì),將氣體純度提升至超高水準(zhǔn),從根本上避免污染物對(duì)精密設(shè)備的侵蝕,保障系統(tǒng)高效穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí),過濾器兼具耐高溫特性,即使在高溫工況下也能保持卓越的純化效能,確保氣體品質(zhì)不受影響。
在使用與維護(hù)方面,產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出色。螺紋連接設(shè)計(jì)確保了整體的密封性,且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格,適配性廣泛。濾芯可更換的設(shè)計(jì)讓維護(hù)變得簡(jiǎn)便快捷,大幅降低后續(xù)運(yùn)營(yíng)成本。每臺(tái)過濾器都經(jīng)過 100% 完整性測(cè)試和 100% 氨氣泄露檢測(cè),以絕對(duì)可靠的品質(zhì),為半導(dǎo)體行業(yè)的超高純氣體系統(tǒng)保駕護(hù)航。