一、半导体生产核心环节的守护
在半导体制造的复杂流程里，恒歌SF?系列?IGS 面板专用过滤器犹如一位忠实的守护者，默默发挥着关键作用。从硅片的初始处理到最后的芯片封装测试，每一步都离不开纯净且稳定的气体环境，而这正是?恒歌SF?系列过滤器的专长所在。
二、光刻与蚀刻工序中的精准保障
在光刻环节，光线需透过掩膜精准地在硅片上绘制电路图案。此时，哪怕是极其微小的颗粒杂质混入气体中，都可能导致光线散射或阻挡，使光刻图案出现偏差甚至失效。恒歌SF?系列过滤器凭借其?0.003μm 级高效颗粒过滤能力，为光刻工艺提供了超纯净的气体，确保图案的精准度和清晰度，大大提高芯片的良品率。
蚀刻工序同样依赖于?恒歌SF?系列过滤器。蚀刻气体需要在无杂质干扰的情况下与硅片发生精确反应，以形成所需的电路结构。该过滤器保障的?9 – LRV 清洁度，有效防止了杂质引发的异常蚀刻，保证了蚀刻深度和形状的准确性，使得芯片的性能和可靠性得到有力保障。
三、助力设备升级与系统集成
随着半导体技术的不断发展，设备升级换代频繁。恒歌SF?系列过滤器支持高达?100slpm 的大流量，这为设备升级提供了稳定的气体供应基础。无论是新型光刻机、蚀刻机还是其他高精度设备的引入，它都能无缝衔接，确保设备在升级过程中不受气体供应的限制，真正实现助力设备升级无忧。
其采用符合?SEMI 标准的表面安装元件，在系统集成方面表现卓越。在构建半导体行业集成气体输送与控制系统时，它能够方便快捷地与其他组件相结合，促进?？榛杓粕?。就像拼图中的关键一块，使整个系统更加紧凑高效，且安装维护便捷高效，大大降低了系统搭建和后期维护的成本与难度。
四、应对复杂环境的坚固防线
半导体生产环境常常面临高温、高压以及各种腐蚀性气体的考验。恒歌SF?系列过滤器的整体?316L 不锈钢结构就发挥了巨大作用。这种材质耐高温、耐高压、耐腐蚀，其电解抛光 316L 不锈钢外壳进一步增强了抗腐蚀性能。无论是在芯片制造车间的高温工艺区，还是在处理腐蚀性蚀刻气体的区域，它都能稳定工作，为半导体生产构建起一道坚固的防线，确保气体输送与控制的安全可靠，持续推动半导体产业的高质量发展。
? 整体316L不锈钢结构
? 小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性
? 耐高温、耐高压、耐腐蚀
? 电解抛光316L不锈钢外壳
? 安装与检修便捷高效
? 采用机械密封、结构上与介质无焊接
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发布时间 24-11-27